椭圆偏振技术 Ellipsometry
椭圆偏振法是一种测量薄膜介电特性的光学方法。偏振光从样品表面斜反射，产生偏振反射光的振幅比和相位差椭圆，用椭圆偏振光谱仪测量，成分、粗糙度、厚度等信息，通过它可以得到掺杂浓度和其它材料特性。薄膜的本征物理性质也可以用椭偏仪的温度依赖性来研究。
参考文献：
Andrei Sirenko, Department of Physics, New Jersey Institute of Technology, USA: Review of Scientific Instruments 84, 023901 (2013).
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• 振动 < 3-5 nm • 易于更换样品 • 温度稳定性高 |
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