深能级瞬态谱 Deep-Level Transient Spectroscopy (DLTS)

 

深能级瞬态光谱（DLTS）是通过测量电容瞬态随温度变化来检测半导体深能级缺陷浓度和热发射速率的有力工具。它通常使用肖特基二极管或p-n结作为探针。在此过程中，探针正向偏压，以脉冲电压填充自由载流子缺陷。脉冲后，由于热发射，缺陷开始发射捕获载流子。

 

DLTS观察肖特基二极管或p-n结的电容，当温度缓慢变化时，缺陷电荷状态恢复导致电容瞬态。脉冲电压的重复频率乘以某个常数，这取决于设备，称为速率窗口。当陷阱的热发射速率与速率窗口的热发射速率相同时，会产生DLTS峰值。由于陷阱发射速率对温度有很强的依赖性，因此利用合适的发射速率窗口可以解决不同陷阱的发射问题。

 

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Deep-Level Transient Spectroscopy (DLTS)

Deep-Level Transient Spectroscopy (DLTS) 深能级瞬态谱