扫描电子显微镜(SEM) Scanning Electron Microscopy

 

扫描电子显微镜(SEM)是检测样品表面形貌和成分的最通用的仪器之一。表面图像是由聚焦的电子束与样品中的原子相互作用而得到的，可以达到<1nm的分辨率。相互作用产生的信号包括次级电子(SE)、背散射电子(BSE)、特征x射线和阴极发光、吸收电流和透射电子。SE是扫描电镜检测到的最标准的信号。它的能量很低，所以分辨率很高。BSE发生在样品内部更深的地方，与原子序数密切相关。它通常与特征X射线光谱一起用于成分分析。许多扫描电镜测量是在样品台冷却到低温时根据不同的样品性质进行的。

 

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Scanning Electron Microscopy

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