ARS闭循环低温真空探针台
美国ARS(ADVANCED RESEARCH SYSTEMS)是一家世界级低温系统制造厂商,于1986年在美国宾夕法尼亚成立。主要产品为低温探针台和低温恒温器,ARS致力于为科研工作者提供1.5-800K低温解决方案。
美国ARS低温探针台种类繁多,用于样品的非破坏性检测,测试灵活,广泛应用于直流(DC),射频(RF),MEMS, 纳米电子,超导性,纳米电路的光电特性,量子点和量子线等。
产品主要包括液氦/液氮连续流型低温探针台,闭循环无液氦低温探针台,超稳型纳米科技低温探针台,电磁铁低温探针台,超导磁体低温探针台。各类探针台都可升级为超高真空(UHV)刀口法兰结构,获得10-11torr极限真空,其中超稳型纳米科技低温探针台样品处振动只有10nm,非常适合对振动要求苛刻的应用,超导磁体探针台样品处最高磁场可达4T。
ARS以研发为重点,生产的低温设备随着科学研究领域的不断变化而不断发展,为您提供最先进的低温设备。ARS在全球拥有训练有素销售及技术团队,为客户提供售前售后技术支持,并以合理的价格为客户选择适合客户需求的低温设备。
美国ARS(ADVANCED RESEARCH SYSTEMS)公司的PS-CC闭循环探针台用于样品的非破坏性检测,测试灵活,广泛应用于直流(DC),射频(RF),MEMS, 纳米电子,超导性,纳米电路的光电特性,量子点和量子线,非破坏性测试等。
该款探针台使用DE204、DE210或DE215系列冷头,整个测试过程中无需使用任何制冷剂(液氦/液氮)。可根据不同测试要求,选用不同型号冷头,以便样品最低温度到达13K、<10K、7K或<4K。所有的ARS闭式循冷头均采用高制冷量的一级冷头,该设计可使系统快速降温并最大程度降低系统热负载。气动驱动GM冷头一级制冷量高,固有振动小,是该领域的理想选择。
该系统为科研工作者提供一个大的、洁净的样品环境。真空腔由焊接不锈钢制成,防热辐射屏由镀镍的无氧铜OFHC制成。镍镀层的低辐射率和无氧铜的高热传导使得样品空间的防热辐射屏温度更低净制冷量更大。高质的真空器件至关重要,可以使样品获得更高的真空环境,更洁净的表面,更好的电接触。
ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了该产品的稳定性能,也利于系统的诊断和服务。
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上图为探针台样品区 | 上图为定制的样品座及4个DC探针 |
技术参数
样品温度 |
冷却技术 |
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温度范围 |
< 4K-400K(可选更高制冷量DE215 冷头冷台温度<4K,安装高温隔热台高温度可达800K) |
制冷方式 |
闭循环制冷机 |
温度稳定性 |
优于50mK |
制冷剂 |
无需制冷剂 |
抽真空时间 |
真空室 |
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机械泵 |
约45 分钟 |
材质 |
不锈钢 |
分子泵 |
约10 分钟 |
直径 |
10"(254mm) |
冷却时间 |
~2-2.5时至10K |
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振动水平 |
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窗口 |
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振动 |
三级减振,样品台综合振动优于1 微米 |
样品架 |
可选配置及升级选项
防热辐射屏 |
样品台 |
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材料 |
镀镍无氧铜防热辐射屏 |
接地(标准) |
绝缘(可选) |
样本访问 |
8"(203毫米)直径盖子 |
偏压 |
可选同轴电缆至外部BNC 接头 |
上盖 |
蓝宝石冷窗 |
偏压到Guard |
可选同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头 |
热连接至1 级冷头 |
材质 |
镀金无氧铜 |
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直径 |
2.25英寸 |
探针臂位移台 |
温度计安装 |
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连接方式 |
不锈钢焊接波纹管 |
4 个温度计,2 套加热器 |
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驱动 |
手动驱动 |
4个温度计位置 |
1 个DT-670B-SD 温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温 |
X方向(轴向) |
2英寸行程 |
1 个DT-670B-SD 安装于样品台底部用于控温 |
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Y方向(横向) |
1英寸行程(标准) |
1 个DT-670B-SD 安装于冷头位置用于诊断 |
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Z方向(垂直方向) |
0.5 英寸行程 |
1 个校准型DT-670-CU-4M 温度计安装在样品台顶部样品附近,用于精确测温 |
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刻度 |
10微米 |
2个加热器位置 |
1 套50W 筒状加热器安装在样品台底部用于控温 |
灵敏度 |
5微米 |
1 套100W 加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温 |
直流/低频探针臂 |
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微型同轴电缆 |
三同轴电缆 |
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接头 |
SMA 或BNC |
三同轴接头 |
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频率 |
0-100兆赫兹 |
0-100 兆赫兹 |
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阻抗 |
50欧姆 |
50欧姆 |
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包含接地屏蔽接头 |
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卡尔文探针 |
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电缆 |
同轴 |
三同轴 |
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接头 |
SMA 或BNC |
三同轴接头 |
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频率 |
0-100兆赫兹 |
0-100 兆赫兹 |
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针尖材料 |
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标准 |
钨针 |
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可选 |
镀金钨针/铍铜镀金 |
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针尖半径 |
0.5微米(其他半径可选) |
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GSG高频探针臂 |
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0-40GHz |
0-50GHz |
0-67GHz |
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接头 |
K型接头 |
2.4 |
1.85 |
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电缆 |
半刚性同轴电缆 |
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针尖 |
钨针或铍铜针尖 |
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光纤探针臂 |
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可选 |
紫外/可见或可见/红外 |
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接头 |
SMA905 公头 |
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光纤样品端 |
抛光裸头 |
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尺寸 |
100微米-400微米 |
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单模或多模 |
显微观测系统 |
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标准7:1 显微镜 |
可选16:1 显微镜 |
视野 |
4.2 毫米-0.61 毫米 |
12.8 毫米-0.8 毫米 |
工作距离 |
89 毫米 |
89 毫米 |
数值孔径 |
0.024-0.08 |
0.0090-0.15 |
光源 |
环形光源 |
环形光源 |
分辨率 |
3微米 |
2微米 |
安装手动三维位移台 |
部分ARS产品用户单位 | ||
中国科学院物理研究所 | 厦门大学 | 中国科学院大连化学物理研究所 |
中科院理化技术研究所 | 复旦大学物理系 | 华南理工大学 |
复旦大学 | 北京大学 | 浙江大学 |
武汉铢寸科技有限公司 | 南京大学 | 人民大学 |
清华大学 | 云南大学 | 兰州近物所 |
南方科技大学 | 中国科学技术大学 | 中山大学 |
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中国科学院近代物理研究所 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 北京航空航天大学 |
北京大学 ICQM | 西湖大学 | 南京工业大学 |
上海大学 | 山东大学 | 北京理工大学 |
北京邮电大学 | 香港中文大学 | 湖南大学 |
电子科技大学 | 香港大学 | 澳门大学 |
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北京工业大学 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 东南大学 |
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上海交通大学 | 扬州大学 | 重庆邮电大学 |
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