超高真空（UHV）液氦/液氮型低温探针台
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| 超高真空（UHV）低温探针台的侧面图 | 8英寸的高效真空泵抽口 |
美国ARS（ADVANCED RESEARCH SYSTEMS）是一家世界级低温系统制造厂商，于1986年在美国宾夕法尼亚成立。主要产品为低温探针台和低温恒温器，ARS致力于为科研工作者提供1.5-800K低温解决方案。
美国ARS低温探针台种类繁多，用于样品的非破坏性检测，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线等。
产品主要包括液氦/液氮连续流型低温探针台，闭循环无液氦低温探针台，超稳型纳米科技低温探针台，电磁铁低温探针台，超导磁体低温探针台。各类探针台都可升级为超高真空（UHV）刀口法兰结构，获得10-11torr极限真空，其中超稳型纳米科技低温探针台样品处振动只有10nm,非常适合对振动要求苛刻的应用，超导磁体探针台样品处最高磁场可达4T。
ARS以研发为重点，生产的低温设备随着科学研究领域的不断变化而不断发展，为您提供最先进的低温设备。ARS在全球拥有训练有素销售及技术团队，为客户提供售前售后技术支持，并以合理的价格为客户选择适合客户需求的低温设备。
美国ARS（ADVANCED RESEARCH SYSTEMS）公司的PS-L-UHV探针台是专为样品的非破坏检测和最大的真空洁净而设计，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。
液氦/液氮型和闭循环低温探针台核心部件是相同的，可共用相同的桌面、真空腔和探针臂。如果您先购买了液氦/液氮型的探针台，那么可以在之后的任何时间内升级成一个闭循环（无任何制冷剂）的系统。
该类探针台使用了ARS液氦/液氮型低温恒温器，样品温度因制冷剂不同可达~4K（液氦）或 ~77K（液氮）。
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| 超高真空（UHV）探针台的样品区 | Load-lock样品座和4 DC探针特写 |
该系统旨在提供一个大型的，可烘烤的超高真空样品环境。真空腔由不锈钢焊接而成，防热辐射屏由裸无氧铜制成。铜的高导热性使得样品空间处有更冷的防热辐射和更大的净制冷量。高质量的焊接刀口法兰和巨大的泵出端口是至关重要的，因为这样可以实现真正的10-11 Torr的超高真空环境，并最大程度保证了样品的洁净度。
ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了系统的稳定性能，也利于系统的诊断和售后服务。
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应用案例
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• 电磁特性 |
• 超导特性 |
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• 微波特性 |
• 纳米器件光电性能 |
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• 低频，高频特性 |
• 量子点及纳米线 |
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• MEMS |
• 单电子 |
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• 纳米电子学 |
• 低电流物理特性 |
典型结构
• 液氦/液氮型低温恒温器
• 传输管线-标准6英尺（8英尺或者10英尺）
• 流量计
• 10英寸的不锈钢真空腔带5个微操作探头端口和2个备用的NW80附件端口，安装在经阳极化处理的铝台面上，由铝制支撑架支撑
• 8 英寸的镀镍无氧铜防热辐射屏
• 2.25英寸的无氧铜接地样品座，可升级4英寸样品台
• DC, 微波或光纤探针
• 4个温度计和2个加热器用于温度控制和监视
• 涡轮分子真空泵
• 四通道温度控制器及与恒温器连接电缆
• 7:1变焦显微镜，分辨率小于2 微米，同轴或者环形光。包括一个高分辨的24寸的宽屏液晶显示器和显微镜光源
控温系统：
高精度4通道控温仪
用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）
加热器
温度计：
1、冷头温度计，用于诊断
2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温
3、样品温度计，用于精确测量样品温度
4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样
技术参数
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样品温度 |
冷却技术 |
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温度范围 |
液氦3.5K - 400K（最大流量）(可选500K,800K) 液氮77K - 400K(可选500K,800K) |
制冷方式 |
开环恒温器，液氦液氮 |
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温度稳定性 |
优于50mK |
制冷剂 |
液氦/液氮 |
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冷却和抽真空时间 |
真空室 |
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抽真空时间 |
机械泵.45 分钟 分子泵.10 分钟 |
材质 |
304不锈钢 |
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振动水平 |
直径 |
11.97"（304mm） |
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振动 |
样品台综合振动.于1 微米 |
冷却时间 |
约30-45分钟降温到4.5K |
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样品架 |
窗口 |
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可选配置及升级选项
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防热辐射屏 |
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样品台连接 |
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材料 |
镀镍无氧铜防热辐射屏 |
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接地（标准） |
绝缘（可选） |
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样本访问 |
8"(203毫米)直径盖子 |
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偏压 |
可选同轴电缆至外部BNC 接头 |
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上盖 |
蓝宝石冷窗 |
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偏压到Guard |
可选同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头 |
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样品台 |
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材质 |
镀金无氧铜 |
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直径 |
2.25英寸 |
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探针臂位移台 |
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温度计安装 |
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连接方式 |
焊接刀口法兰的不锈钢焊接波纹管 |
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4 个温度计，2 套加热器 |
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驱动 |
手动驱动 |
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4个温度计位置 |
1 个DT-670B-SD 温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温 |
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X方向（轴向） |
2英寸行程 |
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1 个DT-670B-SD 安装于样品台底部用于控温 |
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Y方向（横向） |
1英寸行程（标准） |
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1 个DT-670B-SD 安装于冷头位置用于诊断 |
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Z方向（垂直方向） |
0.5 英寸行程 |
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1 个校准型DT-670-CU-4M 温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 |
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刻度 |
10微米 |
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2个加热器位置 |
1 套50W 筒状加热器安装在样品台底部用于控温 |
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灵敏度 |
5微米 |
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1 套100W 加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温 |
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直流/低频探针臂 |
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微型同轴电缆 |
三同轴电缆 |
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接头 |
SMA 或BNC |
三同轴接头 |
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频率 |
0-100兆赫兹 |
0-100 兆赫兹 |
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阻抗 |
50欧姆 |
50欧姆 |
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接地屏蔽接头 |
包含 |
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卡尔文探针 |
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电缆 |
同轴 |
三同轴 |
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接头 |
SMA 或BNC |
三同轴接头 |
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频率 |
0-100兆赫兹 |
0-100 兆赫兹 |
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针尖材料 |
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标准 |
钨针 |
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可选 |
镀金钨针/铍铜镀金 |
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针尖半径 |
0.5微米（其他半径可选） |
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GSG高频探针臂 |
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0-40GHz |
0-50GHz |
0-67GHz |
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接头 |
K型接头 |
2.4 |
1.85 |
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电缆 |
半刚性同轴电缆 |
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针尖 |
钨针或铍铜针尖 |
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光纤探针臂 |
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可选 |
紫外/可见或可见/红外 |
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接头 |
SMA905 公头 |
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光纤样品端 |
抛光裸头 |
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尺寸 |
100微米-400微米 |
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显微观测系统 |
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标准7:1 显微镜 |
可选16:1 显微镜 |
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视野 |
4.2 毫米-0.61 毫米 |
12.8 毫米-0.8 毫米 |
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工作距离 |
89 毫米 |
89 毫米 |
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数值孔径 |
0.024-0.08 |
0.0090-0.15 |
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光源 |
环形光源 |
环形光源 |
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分辨率 |
3微米 |
2微米 |
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安装手动三维位移台 |
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| 部分ARS产品用户单位 | ||
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