PS-L 液氦/液氮型低温探针台
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上图为探针台的样品空间 |
上图为定制的样品座和4个直流探头。 |
美国ARS是一家世界级低温系统生厂商，创立于1986年，主要产品为低温探针台和低温恒温器，ARS致力于为科研工作者提供1.5-800K低温解决方案。
美国ARS低温探针台种类繁多，用于样品的非破坏性检测，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线等。
产品主要包括液氦/液氮连续流型低温探针台，闭循环无液氦低温探针台，超稳型纳米科技低温探针台，电磁铁低温探针台，超导磁体低温探针台。各类探针台都可升级为超高真空（UHV）刀口法兰结构，获得10-11torr极限真空，其中超稳型纳米科技低温探针台样品处振动只有10nm,非常适合对振动要求苛刻的应用，超导磁体探针台样品处最高磁场可达4T。
ARS以研发为重点，生产的低温设备随着科学研究领域的不断变化而不断发展，为您提供最先进的低温设备。ARS在全球拥有训练有素销售及技术团队，为客户提供售前售后技术支持，并以合理的价格为客户选择适合客户需求的低温设备。
美国ARS（ADVANCED RESEARCH SYSTEMS）公司的PS-L型液氦/液氮型低温探针台用于样品的非破坏性检测，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。
液氦/液氮型和闭循环低温探针台核心部件是相同的，可共用相同的桌面、真空腔和探针臂。如果您先购买了液氦/液氮型的探针台，那么可以在之后的任何时间内升级成一个闭循环（无任何制冷剂）的系统。
该类型探针台使用了ARS液氦/液氮型低温恒温器，样品温度因制冷剂不同可达~4K（液氦）或 ~77K（液氮）。
该系统旨在提供一个大的、干净的样本环境。真空室由焊接不锈钢制成，辐射防护罩由镀有镍的HC铜制成。镍镀层的低发射率和铜的高导电性使得样品空间的辐射屏蔽更冷，净制冷量更大。高质量的真空元件是至关重要的，因为它允许更深层的真空水平和更清洁的样品具有更好的电接触。
ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了系统的稳定性能，也利于系统的诊断和售后服务。
应用案例：
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► 电磁特性 |
► 超导特性 |
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► 微波特性 |
► 纳米器件光电性能 |
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► 低频，高频特性 |
► 量子点及纳米线 |
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► MEMS |
► 单电子 |
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► 纳米电子学 |
► 低电流物理特性 |
典型结构
►液氦/液氮型低温恒温器
►传输管线-标准6英尺（8英尺或者10英尺）
►流量计
►10英寸的不锈钢真空腔带6个微操作探头端口和2个备用的NW80附件端口，安装在经阳极化处理的铝台面上，由铝制支撑架支撑
►8 英寸的镀镍无氧铜防热辐射屏
►2.25英寸的无氧铜接地样品台，可升级4英寸样品台
►DC, 微波或光纤探针
►4个温度计和2个加热器用于温度控制和监视
►LS336四通道温度控制器带与恒温器连接电缆
►7:1变焦显微镜，分辨率小于2 微米，同轴或者环形光。包括一个高分辨的24寸的宽屏液晶显示器和显微镜光源
技术参数
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样品温度 |
冷却技术 |
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温度范围 |
液氦 ~4K-400K(可选500K，800K) 液氮 ~77K-400K(可选500K，800K) |
制冷方式 |
开环恒温器 |
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温度稳定性 |
优于50mK |
制冷剂 |
液氦/液氮 |
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冷却和抽真空时间 |
真空室 |
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机械泵 |
~45分钟 |
材质 |
304不锈钢 |
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分子泵 |
~10分钟 |
直径 |
10"（254mm） |
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冷却时间 |
~30-45分钟可达5K |
上盖 |
高纯石英窗口 |
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振动水平 |
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窗口 |
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振动 |
三级减振，样品台综合振动优于1 微米 |
样品架 |
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可选配置及升级选项
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防热辐射屏 |
样品台 |
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材料 |
镀镍无氧铜防热辐射屏 |
接地（标准） |
绝缘（可选） |
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样本访问 |
8"(203毫米)直径盖子 |
偏压 |
可选同轴电缆至外部BNC 接头 |
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上盖 |
蓝宝石冷窗 |
偏压到Guard |
可选同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头 |
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热连接至1 级冷头 |
材质 |
镀金无氧铜 |
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直径 |
2.25英寸 |
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探针臂位移台 |
温度计安装 |
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连接方式 |
不锈钢焊接波纹管 |
4 个温度计，2 套加热器 |
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驱动 |
手动驱动 |
4个温度计位置 |
1 个DT-670B-SD 温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温 |
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X方向（轴向） |
2英寸行程 |
1 个DT-670B-SD 安装于样品台底部用于控温 |
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Y方向（横向） |
1英寸行程（标准） |
1 个DT-670B-SD 安装于冷头位置用于诊断 |
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Z方向（垂直方向） |
0.5 英寸行程 |
1 个校准型DT-670-CU-4M 温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 |
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刻度 |
10微米 |
2个加热器位置 |
1 套50W 筒状加热器安装在样品台底部用于控温 |
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灵敏度 |
5微米 |
1 套100W 加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温 |
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直流/低频探针臂 |
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微型同轴电缆 |
三同轴电缆 |
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接头 |
SMA 或BNC |
三同轴接头 |
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频率 |
0-100兆赫兹 |
0-100 兆赫兹 |
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阻抗 |
50欧姆 |
50欧姆 |
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包含接地屏蔽接头 |
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卡尔文探针 |
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电缆 |
同轴 |
三同轴 |
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接头 |
SMA 或BNC |
三同轴接头 |
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频率 |
0-100兆赫兹 |
0-100 兆赫兹 |
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针尖材料 |
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标准 |
钨针 |
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可选 |
镀金钨针/铍铜镀金 |
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针尖半径 |
0.5微米（其他半径可选） |
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GSG高频探针臂 |
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0-40GHz |
0-50GHz |
0-67GHz |
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接头 |
K型接头 |
2.4 |
1.85 |
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电缆 |
半刚性同轴电缆 |
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针尖 |
钨针或铍铜针尖 |
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光纤探针臂 |
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可选 |
紫外/可见或可见/红外 |
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接头 |
SMA905 公头 |
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光纤样品端 |
抛光裸头 |
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尺寸 |
100微米-400微米 |
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单模或多模 |
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典型案例
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带超低振动隔离器的PS-L连续流型低温探针台。本设计具有手动和电动功能。 |
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| 部分ARS产品用户单位 | ||
| 中国科学院物理研究所 | 厦门大学 | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 中科院理化技术研究所 | 复旦大学物理系 | 华南理工大学 |
| 复旦大学 | 北京大学 | 浙江大学 |
| 武汉铢寸科技有限公司 | 南京大学 | 人民大学 |
| 清华大学 | 云南大学 | 兰州近物所 |
| 南方科技大学 | 中国科学技术大学 | 中山大学 |
| 陕西师范大学 | 北京师范大学 | 西安交通大学 |
| 中国科学院近代物理研究所 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 北京航空航天大学 |
| 北京大学 ICQM | 西湖大学 | 南京工业大学 |
| 上海大学 | 山东大学 | 北京理工大学 |
| 北京邮电大学 | 香港中文大学 | 湖南大学 |
| 电子科技大学 | 香港大学 | 澳门大学 |
| 北京纳米能源与系统研究所 | 香港浸会大学 | 淮阴工学院 |
| 北京工业大学 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 东南大学 |
| 山西大学物理电子工程学院 | 中国科学院高能物理研究所 | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 上海交通大学 | 扬州大学 | 重庆邮电大学 |
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