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Linear16-x. 压电线性台

 

低温系列,闭环控制最⼩尺⼨线性位移台

 

⊙紧凑的设计,外形尺⼨:16 * 16 * 10.5 mm

⊙超高真空 & 极低温兼容:2 E-11 mbar & 30 mK

⊙ 无磁材料 纯Ti & BeCu组成,兼容18 Tesla磁场

⊙⾼负载 & ⼤推⼒:50 g & 1.5 N

⊙⼤⾏程:3 mm

⊙ 闭环控制,位置传感达到 0.1 um 分辨率

 

 

详细参数 

  Linear16-x Linear16-x.ULT Linear16-x.UHV Linear16-x.ULT.UHV
底座尺寸 (Footprint) 16 mm*16 mm
高度 (Height) 10.5mm
重量 (Weight) 10g
工作环境 (Work Environment)
基础运行环境 (Work Environment) 温度范围:1.6 – 400 K; 真空度:1E-7 mbar; 最高磁场:18 Tesla
极低温 30 mK – 400K (Option 1)    
超高真空 2E-11 mbar (Option 2)    
材料 (Materials)
主体 (Mainbody) 纯钛 (Pure Ti) 铍铜 (BeCu) 纯钛 (Pure Ti) 铍铜 (BeCu)
线缆 (Wires) 磷铜双绞线 (Phosphor Bronze Twisted Paired Wire) 20 cm
插针材料 (Pins Materials) Polyester (Glass Fiber Filled), BeCu   Peek, BeCu
插针数目 (Pins) Driven – 2 pins

Sensor – 3 pins
运动参数 (Motion)
行程 (Travel Range) 3 mm
最大速度@300 K (Max. Velocity) ~ 2 mm/s
驱动电压 (Drive Voltage) Max. 200 V
最大负载 (Load) 50 g
最大推力 (Dynamic Force) 1.5 N
闭环传感 (Closed-loop Sensor)
位置传感器 (Position Encoder) 电阻传感器 (Resistive Sensor)      
传感器行程 (Encode Range) 3 mm
分辨率 (Resolution) ~ 150 nm
可重复性 (Repeatability) 1-2 um
注:低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求(建议低于50欧姆)。
*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).


关键尺寸图