线性台·闭环-LSxx.Lab 系列·线性位移台

 

LSxx.Lab 系列·线性位移台

 

• 超安静运动，20 kHz驱动频率；

• 最小步伐优于 10 nm；

• 极紧凑外形设计，分为25mm，35mm和 65mm 三类；

• 可提供多轴堆叠安装转接件；

• 闭环控制·位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)；

• 控制器兼容旋转台，摇摆台；

• 高精度·空间传感分辨率(.O) 1 nm、10 nm可选；

• 支持无磁（.NM）和超高真空（.UHV）选件；

• 经济型·空间传感分辨率(.R) 100 nm；

 

详细参数

 

	LS25x.Lab	LS35x.Lab	LS65x.Lab	LS35z.Lab
产品特征Product Festures	最紧凑的闭环位移台，仅8mm厚度	兼顾尺⼨和性能的选择	⼿动光学位移台的完美替代	z方向1 kg, 能负重&能远行
尺寸 Size	25mm*25mm*8mm	35mm*35mm*10mm	65mm*65mm*10mm	35mm * 35mm * 33mm
产品图Product Picture
Travel Range 行程	8 mm	20 mm	30 mm	10 mm
Options 升级选项	扩展可选：.NM ~ 完全无磁； .UHV ~ 超高真空兼容
Materials 材料	主体：S304
Encoder Type 位置传感种类	电阻型传感 (.R) & 光学传感 (.O)
Encoder resolution 位置传感分辨率	R ~100 nm / .O~10 nm
空间推荐安装形式（下列性质均在推荐安装形式下测得）
Motion Direction 运动方向	x 轴 ～ 水平方向
Step Size 最小位移	min. below 10 nm
Maximum Step Frequency 最大驱动频率	20 kHz
Speed 运动速度	1 mm/s ~ 20 mm/s
Max. Load 最大垂直负载	5 kg			1 kg
Dynamic Force 最大水平推力	2 N
Holding Force 保持力	5 N
Pitch / Yaw Over Travel Range 俯仰/偏航超过行程范围	0.3 mrad
XY Orthogonality XY正交	3.5 um
其他安装形式（可以但不推荐这样使用，建议采购多场针对性产品）				不推荐其他使用方式
Max. Load 最大垂直负载	2 N
Holding Force 保持力	5 N
Max Operating Voltage 驱动电压	10 V ~ 120 V
其他
Capacitance 电容	180 nF
Operating temperature 适用温度	默认最高温度40 ℃，超高真空选项支持120 ℃
Cable Length 线缆长度	1 m
Size 产品尺寸	25 mm × 25 mm × 8 mm	35 mm × 35 mm × 10 mm	65 mm × 65 mm × 10 mm	35 mm × 35 mm × 33 mm
Drawings 尺寸图
Controller 控制器