线性台·闭环-LSxx.Lab 系列·线性位移台
LSxx.Lab 系列·线性位移台
• 超安静运动,20 kHz驱动频率;
• 最小步伐优于 10 nm;
• 极紧凑外形设计,分为25mm,35mm和 65mm 三类;
• 可提供多轴堆叠安装转接件;
• 闭环控制·位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O);
• 控制器兼容旋转台,摇摆台;
• 高精度·空间传感分辨率(.O) 1 nm、10 nm可选;
• 支持无磁(.NM)和超高真空(.UHV)选件;
• 经济型·空间传感分辨率(.R) 100 nm;
详细参数
LS25x.Lab | LS35x.Lab | LS65x.Lab | LS35z.Lab | |
产品特征Product Festures | 最紧凑的闭环位移台,仅8mm厚度 |
兼顾尺⼨和性能的选择 | ⼿动光学位移台的完美替代 | z方向1 kg, 能负重&能远行 |
尺寸 Size | 25mm*25mm*8mm | 35mm*35mm*10mm | 65mm*65mm*10mm | 35mm * 35mm * 33mm |
产品图Product Picture | ||||
Travel Range 行程 | 8 mm | 20 mm | 30 mm | 10 mm |
Options 升级选项 | 扩展可选:.NM ~ 完全无磁; .UHV ~ 超高真空兼容 | |||
Materials 材料 | 主体:S304 | |||
Encoder Type 位置传感种类 | 电阻型传感 (.R) & 光学传感 (.O) | |||
Encoder resolution 位置传感分辨率 | R ~100 nm / .O~10 nm | |||
空间推荐安装形式(下列性质均在推荐安装形式下测得) | ||||
Motion Direction 运动方向 | x 轴 ~ 水平方向 | |||
Step Size 最小位移 | min. below 10 nm | |||
Maximum Step Frequency 最大驱动频率 | 20 kHz | |||
Speed 运动速度 | 1 mm/s ~ 20 mm/s | |||
Max. Load 最大垂直负载 | 5 kg | 1 kg | ||
Dynamic Force 最大水平推力 | 2 N | |||
Holding Force 保持力 | 5 N | |||
Pitch / Yaw Over Travel Range 俯仰/偏航超过行程范围 | 0.3 mrad | |||
XY Orthogonality XY正交 | 3.5 um | |||
其他安装形式(可以但不推荐这样使用,建议采购多场针对性产品) | 不推荐其他使用方式 | |||
Max. Load 最大垂直负载 | 2 N | |||
Holding Force 保持力 | 5 N | |||
Max Operating Voltage 驱动电压 | 10 V ~ 120 V | |||
其他 | ||||
Capacitance 电容 | 180 nF | |||
Operating temperature 适用温度 | 默认最高温度40 ℃,超高真空选项支持120 ℃ | |||
Cable Length 线缆长度 | 1 m | |||
Size 产品尺寸 | 25 mm × 25 mm × 8 mm | 35 mm × 35 mm × 10 mm | 65 mm × 65 mm × 10 mm | 35 mm × 35 mm × 33 mm |
Drawings 尺寸图 | ||||
Controller 控制器 |