扫描台·闭环 (S50x.C)
⊙ z方向垂直最大负载1 kg
⊙ 单轴x⽅向⾏程50 um
⊙ 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级
⊙ 支持电容 (.C) 和电阻(.R) 闭环传感
⊙ z方向垂直最大负载1 kg
⊙ 单轴x⽅向⾏程50 um
⊙ 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级
⊙ 支持电容 (.C) 和电阻(.R) 闭环传感
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