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扫描台·闭环 (S50x.C)

ꄴ上一个：显微镜·载物台·闭环 (S200xyz.C)

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⊙ z方向垂直最大负载1 kg

⊙ 单轴x⽅向⾏程50 um

⊙ 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

⊙ 支持电容 (.C) 和电阻(.R) 闭环传感