深紫外窄线宽纳秒脉冲固体激光器
简介
德国Xiton Photonics专注于窄线宽固体脉冲激光器及其频率变换，其深紫外激光器尤为特色。基于1064nm/1342nm的全固态DPSS调Q激光器可通过频率变换提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光输出及355nm、447nm、532nm、671nm等常规波长输出。
多数Xiton激光器具备TEM00模式输出，保证优越的聚焦性能，适合直写等应用；单纵模或窄线宽性能是Xiton激光器的另一特征，长长度确保可用于传统上采用气体激光器的计量、全息、光刻等应用。相比传统深紫外波段的气体激光器，固态激光器体积小、寿命更长，维护成本更低。
产品系列
1、IXION 193深紫外激光器
IXION 193为全固化单频激光器，其线宽达到变换极限，可用于光学计量、193nm步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
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型号 |
IXION 193 SLM |
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波长 |
193.368nm （可选185-194nm） |
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平均功率 |
10mW |
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脉冲宽度 |
8 - 12ns |
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单脉冲能量 |
1.6uJ |
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重复频率 |
1-15kHz |
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M2 |
<1.6 |
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线宽 |
80MHz/ 0.01pm/ 0.0027cm=1 |
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相干长度 |
>2m |
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调谐范围 |
>80GHz/ 10pm/ 2.6cm-1 |
典型应用
• 光谱仪校准
• 光刻
• 干涉仪
• 193nm计量测量
• 准分子激光器种子源
2、SLM系列单纵模激光器
SLM系列提供1064nm，532，355，266，213nm 等多个波长的单纵模、窄线宽纳秒激光输出。
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型号 |
SLM-213 |
SLM-266 |
SLM-355 |
SLM-532 |
SLM-1064 |
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波长 |
213nm |
266nm |
355nm |
532nm |
1064nm |
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平均功率 |
>100mW |
500mW |
2W |
4W |
10W |
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脉冲宽度 |
6-8ns |
8-10ns |
10-12ns |
10-15ns |
15-25ns |
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单脉冲能量 |
10uJ |
50uJ |
200uJ |
400uJ |
1mJ |
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重复频率 |
1-15kHz |
1-20kHz |
1-15kHz |
1-15kHz |
1-15kHz |
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M2 |
<1.6 |
<1.7 |
<1.5 |
<1.2 |
<1.2 |
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线宽 |
<80MHz |
<80MHz |
<60MHz |
<60MHz |
<40MHz |
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相干长度 |
1.5m |
>1.8m |
>2.5m |
2.5m |
3.8m |
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脉冲抖动 |
2.5% |
<2.0% |
<2.0% |
<1.0% |
<0.4% |
典型应用
• 激光雷达
• 干涉计量
• 光刻
• 光纤布拉格光栅（FBG）制造
• 光谱仪校准
• 计量学
• 全息
3、EXCITE系列
EXCITE系列尺寸较SLM系列为小，提供266nm - 1064nm单频纳秒脉冲激光。
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型号 |
EXCITE 266 |
EXCITE 355 |
EXCITE 532 |
EXCITE 1064 |
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波长 |
266nm |
355nm |
532nm |
1064nm |
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平均功率 |
150mW |
400mW |
2.5W |
6W |
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脉冲宽度 |
10-15 ns |
14-18 ns |
15-20 ns |
20-30 ns |
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单脉冲能量 |
7.5uJ |
20uJ |
125uJ |
300uJ |
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重复频率 |
1-30kHz |
1-30kHz |
1-30kHz |
1-30kHz |
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M2 |
<1.7 |
<1.3 |
<1.2 |
<1.2 |
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线宽 |
<60MHz |
<50MHz |
<50MHz |
<30MHz |
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相干长度 |
>2.5m |
>3.0m |
>3.0m |
>5m |
典型应用
• Wafer检测
• 光致发光
• 干涉测量
• 拉曼光谱
• 光纤布拉格光栅（FBG）制造
• 光谱仪校准
• 计量学
• 全息
• 干涉直写
4、IMPRESS 213
IMPRESS 213深紫外激光器可用于FBG刻蚀、钻石及蓝宝石打标加工等应用，213nm波长及TEM00模式使它可以用于小于微米的直写加工。固体深紫外激光器相对于氩离子激光器，具备更佳的寿命、稳定性，更低的能耗和热负荷，适用7×24工业环境运行。
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平均功率 |
150mW |
重复频率 |
1-30kHz |
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脉冲宽度 |
6-8ns |
M2 |
<1.6 |
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单脉冲能量 |
15uJ |
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典型应用
• FBG刻写
• 钻石打标
• 波长敏感处理
• 立体光刻
• 半导体检测
• 替代倍频氩离子激光器
• 光致发光
5、IMPRESS 224
IMPRESS 224提供介于213nm与266nm之间的224nm波长输出，满足部分对波长有特殊要求的应用（如增强拉曼光谱、痕量气体分析等）。
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平均功率 |
300mW |
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脉冲宽度 |
<9ns |
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单脉冲能量 |
>30uJ |
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重复频率 |
0.1-30kHz |
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M2 |
<1.6 |
典型应用
• FBG刻写
• 波长敏感处理
• 立体光刻
• 显示面板修复
• 微加工
• 半导体检测
• 替代倍频氩离子激光器
• 光致发光
6、IDOL系列
IDOL系列产生特殊的1342nm波长及其倍频（671nm）、三倍频（447nm），其中1342nm特别适合硅材料处理如隐形划片、集成电路修剪，而671nm、447nm则在显示平板修补领域有广泛应用。
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型号 |
IDOL 1342 |
IDOL 671 |
IDOL 447 |
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波长 |
1342nm |
671nm |
447nm |
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平均功率 |
4.5W |
2W |
1.5W |
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脉冲宽度 |
12-26 ns |
10-12 ns |
11-13 ns |
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单脉冲能量 |
300uJ |
130uJ |
100uJ |
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重复频率 |
1-50kHz |
1-30kHz |
1-30kHz |
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M2 |
<1.2 |
<1.2 |
<1.3 |
典型应用
• 显示面板修补
• 隐形划片
• 波长敏感处理
• 硅材料处理
• 微加工
